FPD曝光装置

引领平板显示器的发展——更薄、更大、更高清

平板显示器(FPD)每年都在往更薄更大的趋势发展,让我们能更轻松地享受更高清晰度图像。尼康的FPD曝光装置在这一发展过程中做出了重要贡献。

平板显示器一般分为两大类,液晶显示器(LCD)和有机电激发光显示器(OLED)。无论哪种,每个像素都由红绿蓝三色组成。在每种颜色上,都有一个起着开关功能的薄膜晶体管(TFT)来控制通过光的强度。一个像素超过800万的4K(UHD=超高清)显示器,由于红、绿、蓝三色分别和TFT连接,开关数量超过2400万。通过对TFT的控制便可呈现理想的高清图像。而FPD曝光装置则是将高精度的TFT图形精准地曝光到玻璃基板上。

FPD曝光装置将光照射到绘制有原始TFT电路图形的光掩模上,光线通过透镜将图形曝光到玻璃基板上。在一块大型玻璃基板上反复进行多次曝光,使图形覆盖整块玻璃基板。

大型化及高清化对应

随着所用玻璃基板尺寸的大型化,FPD清晰度也越来越高。基于发展的需求,尼康研发了在尺寸最大的第十代玻璃基板上高效制造60英寸以上的大型面板,以及在第六代玻璃基板上大规模制造中小型高清面板的系统。同时尼康也研发了多种技术和创新推动了FPD制造的发展,这些创新包括测量并调整玻璃基板表面变形,通过单次曝光实现大面积高清图形成像等。

组合式镜头投影系统

随着玻璃基板尺寸的逐年增大,可切割出的面板数量也越来越多,因此更需要提高能效扩大单次曝光可形成的电路图形范围。尼康独自开发的组合式镜头投影系统,很好地解决了这一难题。为了在大型玻璃基板上高效曝光,尼康将多个镜头排成两排,确保了较宽的曝光范围。尼康最大的FPD曝光装置FX-101S装载了多达14个镜头,其功效相当于一个巨大镜头,准确控制着曝光。